参数：

• 仪器外形尺寸：800*950*1650mm
• 仪器重量：430Kg
• 玻璃承重：30Kg
• 仪器电源功率：220V/50HZ 800W
• 行程：400*300mm（可选型）
• 调焦行程：Z轴:200mm
• 金属台尺寸：550*450mm
• 玻璃台尺寸：430*330mm
• 传动形式：X/Y/Z轴进口上银精密线性导轨搭配进口上银研磨级滚珠螺杆
• 摄像机1: 1/2" CCD 数字相机 镜头:大视野(0.1X双远心镜头)
• 物方FOV : 100.0mm 景深:±15mm 视野精度:≤0.006mm
• 摄像机2: 1/2" CCD 数字相机 镜头:小视野(0.45X双远心镜头)
• 物方FOV : 25.0mm 景深:±1.5mm 视野精度:≤0.004mm
• 光源系统: 表面光源与透射光源LED冷光源、寿命长、亮度可调
• 伺服驱动： X/Y/Z三轴高性能闭环伺服电机，双重闭环控制系统
• 线性精度： 金属贴片光学尺； 分辨率:X/Y/Z轴0.0002mm(0.2μm)； 线性精度:≤2.0μm+L/200
• 激光测量系统： 基恩士激光测量传感器 LK-G30 工作距离:30mm
• 测量范围：±5mm(选配)
• 探针测量系统： 英国雷尼绍 φ1mm φ2mm(选配)